撼動晶片業！日本開發出便宜EUV！？台積電不用當盤子了！？極紫外光EUV大解密！ ※曲博官方Line群正式開張，歡迎大家加入，一起從討論中成長！ 加入連結 👉 https://ansforce.page.link/Drjline3 ※曲博頻道會員已開啟，想要加入的伙伴可以直接點選這個連結，一起讓科技成長茁壯！👉 https://ansforce.page.link/JoinYT ※曲博科技教室所有的影片可以在這裡直接用關鍵字搜尋👉 https://ansforce.page.link/Drjlist 訂閱我的Youtube頻道 ：https://goo.gl/zX7p6N 按讚粉絲專頁，掌握最新趨勢：https://goo.gl/8zfgi5 🏮【科技新未來 EP107】極紫外光(EUV)大解密！日本科學家想要簡化反射鏡提升效率降低成本如何做到？🏮 00:00 開場 | Introduction 01:54 如何提高光學系統的分辨能力？ 05:44 艾司摩爾(ASML)的極紫外光微影(EUV)系統簡介 07:00 蔡司(Zeiss)全球獨家的反射鏡加工技術 08:39 高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)的反射鏡有什麼不同？ 13:20 光源光罩最佳化(SMO)如何進行？ 15:47 極紫外光(EUV)曝光機的改良方法 18:14 新型極紫外光(EUV)系統的光學模擬結果 【資料來源】 Tsumoru Shintake教授發表在Proc. Photomask Japan symposium, Yokohama 2024 Okinawa Institute of Science & Technology Graduate University Can we improve the energy efficiency of EUV lithography? https://www.researchgate.net/publication/380730219_Can_we_improve_the_energy_efficiency_of_EUV_lithography 【知識力專家社群】 https://www.ansforce.com 歡迎加入知識力官方Line https://bit.ly/ansforceline #EUV #ASML #台積電 #極紫外光 #先進製程 #TSMC #日本 #科學家 #蔡司 #高數值孔徑極紫外光 #HIGHNAEUV #Tsumoru #Shintake 曲博科技教室 Dr. J Class 更多视频／文章……
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