台積電2奈米環繞閘極GAA關鍵！工研院新創「NanoSeeX」手握獨步全球技術曝光！

2023-2-8 05:30| 发布者: admin8| 查看: 57| 评论: 0|文章／视频分享来自: 曲博科技教室 Dr. J Class

台積電2奈米環繞閘極GAA關鍵！工研院新創「NanoSeeX」手握獨步全球技術曝光！

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🏮【科技最前線 EP37】小兵立大功技術大突破：Nanoseex如何協助台積電突破2奈米環繞閘極(GAA)良率問題？🏮

半導體先進製程，未來將進入到3奈米以下的環繞閘極(GAA)結構，台積電、英特爾、三星都已經宣布未來的2奈米製程已經確定會使用環繞閘極(GAA)結構，不過要將GAA的良率提高非常困難。

良率要提高必須在每一層結構都要檢測，工研院新創「NanoSeeX」獨步全球技術，使用X光來進行非破壞性檢測，怎麼做到的？今天很開心邀請到工研院量測中心組長：傅尉恩博士，跟大家一起來聊聊這項重磅計畫！

00:00 開場 | Introduction
00:23 目前晶圓廠在發展2奈米環繞閘極(GAA)遇到了什麼困難？
01:48 如何突破傳統光學的限制量測到奈米等級？
05:07 研發X光檢測技術時遇到最大的困難是什麼？如何解決？
08:03 目前國外的競爭對手發展類似技術進度到哪裡了？
10:41 與晶圓代工大廠合作遇到最大的困難是什麼？
12:26 工研院成立新創公司Nanoseex目前的進度如何？
14:35 結論 | Conclusion

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