又有新進展！？台積電攜手台大突破2奈米GAA困境！竟然用微波爐也能做先進製程？

2022-11-16 05:00| 发布者: admin8| 查看: 36| 评论: 0|文章／视频分享来自: 曲博科技教室 Dr. J Class

又有新進展！？台積電攜手台大突破2奈米GAA困境！竟然用微波爐也能做先進製程？

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🏮【科技新未來 EP72】台積電攜手台大與康奈爾大學：用微波爐突破2奈米環繞閘極(GAA)製程困境🏮

三星宣佈未來3奈米以下都要用環繞閘極(GAA)製程來做，三星趕進度，台積電當然也不能洩氣，台積電攜手台大與康奈爾大學，透過微波爐突破2奈米環繞閘極(GAA)製程困境，這是怎麼做到的呢？今天讓我們來看看吧！

00:00 開場大綱 | Intro, Summary
03:06 電晶體為什麼會產生短溝道效應？
05:40 什麼是半導體的摻雜(Doping)？
07:20 什麼是半導體的退火(Annealing)製程？
08:17 如何使用微波爐製作2奈米晶片？
11:01 如何利用微波爐突破環繞閘極(GAA)的製程困境？
13:00 結論 | Conclusion

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【參考資料】
Pine發表在量子位
2nm工藝進展受阻，微波爐成關鍵突破點
https://www.qbitai.com/2022/09/37738.html
Chun-Hsiung Tsai and Chih-Kung Lee等人發表在Appl. Phys. Lett. 121, 052103 (2022)
Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit.
https://aip.scitation.org/doi/full/10.1063/5.0099083

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