台積電戰勝三星的關鍵！ASML、台積電重要推手！浸潤式微影之父林本堅院長！

2022-1-6 04:15| 发布者: admin8| 查看: 28| 评论: 0|文章／视频分享来自: 曲博科技教室 Dr. J Class

台積電戰勝三星的關鍵！ASML、台積電重要推手！浸潤式微影之父林本堅院長！

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🏮【科技大哉問EP65】超越摩爾定律另一章：浸潤式微影之父如何帶領台積電戰勝三星？🏮

成功的企業，背後都會有一個默默付出的關鍵人物，大家可能對張忠謀、劉德音、魏哲家這些台積電的代表人物很熟悉，但其實有一位非常關鍵人物，可以說是改寫這個半導體史，他就是最近擔任清華大學半導體學院院長的林本堅博士，他發明了浸潤式微影技術，台積電今天能夠在半導體產業中站穩腳步，林本堅博士可以說是關鍵人物，今天就讓我們來聊聊這個話題。

00:00 開場大綱 | Intro, Summary
02:15 什麼是光學微影？ | What is photolithography?
03:00 如何進行圖形轉移？ | How to transfer pattern?
05:19 浸潤式微影技術 | What is Immersion lithography
07:11 林本堅教授針對台積電超越三星及英特爾的看法
08:49 中芯國際如何做先進製程
09:51 什麼是多重圖形曝光技術？ | What is Multiple patterning?
13:03 結論 | Conclusion

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【參考資料】
盧佳柔發表在數位時代
清大半導體學院揭碑！前台積電大將林本堅掌舵：致力培養領導人才
https://www.bnext.com.tw/article/67000/euv-immersion-tsmc-semiconductor
陳玉娟發表在電子時報(Digitimes)
林本堅看3奈米交戰：三星每代都說超前、台積電超前部署更吸引人方法
https://www.digitimes.com.tw/tech/dt/n/shwnws.asp?cnlid=1&id=0000626509_7HZ69DR0LZXZTCL1JXU3V

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