半導體產業再創新?用冰刻機可以取代光刻機媽!?先進製程又有新玩意! 加入連結 👉 https://ansforce.page.link/Drjline2 ※曲博頻道會員已開啟,想要加入的伙伴可以直接點選這個連結,一起讓科技成長茁壯!👉 https://ansforce.page.link/JoinYT ※曲博科技教室所有的影片可以在這裡直接用關鍵字搜尋👉 https://ansforce.page.link/Drjlist 🏮【科技新未來 EP84】產業科技再創新:先進製程用冰刻機能取代光刻機嗎?🏮 00:00 開場大綱 | Intro, Summary 01:42 什麼是黃光微影技術(Photolithography)? 03:50 如何利用光阻劑(光刻膠)來進行圖形轉移? 05:30 電子束(Electron beam)與電子槍(Electron beam gun) 06:29 電子束冰刻機(iEBL)的原理 07:24 電子束冰刻機(iEBL)微影技術的製作流程 11:28 電子束冰刻機(iEBL)的技術限制 13:25 結論 | Conclusion 訂閱我的Youtube頻道:https://ansforce.page.link/DrjYT 按讚粉絲專頁,掌握最新趨勢:https://ansforce.page.link/DrjFB 【參考資料】 Yu Hong, Ding Zhao, Dongli Liu, Binze Ma, Guangnan Yao, Qiang Li, Anpan Han, and Min Qiu Three-Dimensional in Situ Electron-Beam Lithography Using Water Ice https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acs.nanolett.8b01857 【知識力專家社群】 https://www.ansforce.com 歡迎加入知識力官方Line https://bit.ly/ansforceline #冰刻機 #光刻機 #先進製程 #電子束 #電子槍 #黃光微影 #光阻劑 #iEBL 曲博科技教室 Dr. J Class 更多视频/文章……
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