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先進製程成本將大幅降低!?挑戰ASML極紫外光!Canon奈米壓印微影(NIL)技術,不用極紫外光(EUV)也能量產2奈米如何做到?

2023-10-17 22:41| 发布者: admin8| 查看: 103| 评论: 0|文章/视频分享来自: 曲博科技教室 Dr. J Class




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🏮【科技新未來 EP91】佳能(Canon)奈米壓印微影(NIL)技術不用極紫外光(EUV)也能量產2奈米如何做到?🏮

00:00 開場大綱 | Intro, Summary
00:30 Arm Tech Symposia 2023 - Arm
03:09 奈米壓印微影(NIL)技術成功量產
10:05 奈米壓印微影:終極微加工技術
11:57 佳能奈米壓印微影(NIL)技術的工作原理
14:25 壓印光阻劑的噴射控制技術
17:33 奈米壓印微影(NIL)的最佳光阻劑材料
19:33 用於壓印的奈米級對準技術
23:11 實現清潔半導體的微粒控制技術
32:51 奈米壓印微影(NIL)的優缺點與使用限制
36:35 結論 | Conclusion


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【參考資料】
佳能公司網站
https://global.canon/en/news/2023/20231013.html
https://global.canon/en/technology/frontier07.html
科技部奈米博物館
https://nano.nstm.gov.tw/nanomuseum/E3_future.html

【知識力專家社群】
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