三星的秘密武器，將會超車台積電！？石墨烯光罩護膜為什麼這麼重要？

2023-12-19 20:33| 发布者: admin8| 查看: 96| 评论: 0|文章／视频分享来自: 曲博科技教室 Dr. J Class

三星的秘密武器，將會超車台積電！？石墨烯光罩護膜為什麼這麼重要？

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🏮【科技大哉問 EP131】三星彎道超車台積電的秘密武器：石墨烯(Graphene)光罩護膜(Pellicle)為什麼這麼重要？🏮

00:00 開場 | Introduction
00:36 AWS全球年度最大的雲端科技發表盛會2023 re:Invent
02:43 技術大進展！三星極紫外光的光罩護膜透光率達90%
03:35 三星電子技術3奈米搶先良率卻是痛點
04:55 光罩護膜(Pellicle)讓灰塵曝光後的影像產生失焦
06:25 光罩護膜(Pellicle)在深紫外光(DUV)與極紫外光(EUV)的差異
09:09 極紫外光(EUV)光罩護膜(Pellicle)的技術挑戰
11:12 極紫外光(EUV)光罩護膜(Pellicle)明日之星：石墨烯(Graphene)
14:52 結論 | Conclusion

【參考資料】
Samsung Electronics Achieves 90% Transmission Rate with Japanese-made EUV Pellicle
https://www.businesskorea.co.kr/news/articleView.html?idxno=206965
EUV光刻的新救星
https://36kr.com/p/2416953716827136

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